ALD上下料機

產品特點

最高產能可達到16000pcs/h

可根據客戶需求進行配置

特制精密陶瓷吸盤,陶瓷頂齒,陶瓷側齒,減少硅片劃傷,保證設備的穩定性

ALD上下料機技術參數
技術參數相關參數
產能8000/11000/16000 pcs/h
金屬舟規格 200槽 ,節距2.38mm
硅片尺寸 166mm-210mm
適用花籃100 casstte
碎片率≤0.03%
開機率≥98%
耗氣量1000L/min
具體參數如有變動,本公司不另行通知!
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